广东卓为环境科技有限公司
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百级无尘车间作为高洁净等级的环境控制区域，对空气中悬浮粒子的数量与粒径设定严格指标。依据《GB 50073-2013洁净厂房设计规范》与ISO 14644国际标准，百级无尘环境空气中粒径等于或大于0.5微米的颗粒物数量应控制在每立方英尺不超过100个，相当于每立方米不超过3520个。
在工程实际应用中，百级无尘车间控制0.3微米、0.5微米、1.0微米三类粒径段，其中0.5微米粒子为核心监测项目。该粒径级别对部分半导体晶圆、微电子元器件、光学产品的制造至关重要，颗粒物超标将导致表面缺陷、介质污染、器件失效等风险。
洁净度维持主要依赖过滤系统，包括HEPA高过滤器或ULPA超效过滤器。百级区域多采用垂直层流送风模式，洁净气流自上而下覆盖工位，有效排除颗粒积聚。送风风速维持在0.3~0.5米/秒之间，确保空气动态洁净状态。
人员进出、物料运输、设备运转均为潜在颗粒污染源。百级无尘车间需设置风淋通道、缓冲区、多级更衣间以及全封闭地坪系统。室内材质须采用低发尘、易清洁、防静电构造，减少颗粒生成与附着。
空气洁净度需通过尘埃粒子计数仪定期检测，采样点设置于代表性工位与回风区域。数据采集采用符合ISO 14644-1规定的统计方法，确保区域洁净等级持续满足标准。
百级无尘车间广泛用于晶圆加工、MEMS制造、光学镀膜、医疗器械灌装等工艺场景，洁净度控制能力直接影响产品合格率与稳定性。
