百级无尘车间作为高洁净度等级的空间,换气次数是维持其洁净度的关键参数 。根据国际标准 ISO 14644 - 1 及国内相关洁净室设计规范,百级无尘车间的换气次数通常要求在 200 - 600 次 / 小时 。这一数值并非固定不变,而是受多种因素影响 。
从车间的气流组织形式来看,百级无尘车间多采用垂直单向流或水平单向流形式 。垂直单向流系统中,有效过滤器满布顶棚,气流自上而下均匀流动,能快速带走污染物 。在此模式下,为保证气流的均匀性和连续性,换气次数一般需达到 400 - 600 次 / 小时 。水平单向流系统中,气流沿水平方向流动,换气次数相对垂直单向流略低,通常在 200 - 400 次 / 小时 。
车间的空间大小与设备发热情况也会影响换气次数 。较小面积的百级无尘车间,因污染物扩散范围有限,在满足洁净度要求的前提下,换气次数可适当降低 。而大面积车间,为确保各区域洁净度达标,需提高换气次数 。若车间内设备较多且发热量大,会加速污染物的扩散,此时也需增加换气次数,以维持稳定的温湿度和洁净环境 。
此外,生产工艺对洁净度的特殊要求同样重要 。在半导体芯片制造等对尘埃粒子敏感的工艺中,为防止微小颗粒影响产品质量,即便采用垂直单向流,也可能将换气次数提升至 600 次 / 小时甚至更高 。相反,部分对洁净度要求稍低的百级无尘车间应用场景,换气次数可控制在 200 - 300 次 / 小时 。实际设计与运行时,需通过专业的气流模拟软件进行计算,并结合现场测试数据,对换气次数进行调整,以实现洁净度与能耗的平衡 。