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千级无尘车间有哪些等级要求

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千级无尘车间有哪些等级要求

发布日期:2015-05-13 作者:千级无尘车间 点击:

  现在,千级无尘车间已广泛应用于各行各业的商品出产或别的请求避免粒子污染、微生物污染的环境操控,因为各行各业的商品特性不一样、各种商品的出产技术不相同,运用请求不一样,因而请求操控环境的内容、目标均不会相同。所谓无尘车间的环境操控的内容应当包含:空气净化、洁净修建、与商品直接触摸的水或气体或化学品和出产设备、工器具等的污染物操控以及微振荡、噪声、静电的操控、避免等。所以无尘车间的规划不只请求对室内的空气进行净化到达规则的空气洁净度等级,还必须避免因无尘车间的缔造用资料、装修方式不当带来的污染,有的无尘车间还请求供应超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。

  1、半导体集成电路请求的空气洁净度等级

  集成电路出产环境请求的空气洁净度等级首要取决于集成电路的集成度,不一样工序的空气洁净度等级是根据也许污染的概率和对器件的潜在故障断定的。

  举例说明:

  例一、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间规划按加工、出产6英寸硅片、1M集成电路,图形特形尺雨1.0um,操控粒子粒径0..1um.

  无尘车间空气洁净度等级请求:

  光刻、匀胶区                ISO 3级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、分散等操作区       ISO 3级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、分散等修理区       ISO 5级

  例二、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间规划按加工、出产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um,操控粒子粒径0.2um.

  无尘车间空气洁净度等级请求:

  光刻、匀胶区             ISO 3级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、分散等操作区   ISO 4级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、分散等修理区   ISO 6级

  2、一些电子商品出产环境的空气洁净度等级

  随着信息产业技能的开展,很多电子商品功能、质量的进步和出产过程的微细化,日益请求出产环境具有必定的空气洁净度等级和操控无尘车间内技术出产所需的各类高纯物质的供应质量,现在国内外还没有一致电子商品的空气洁净度等级或出产环境操控请求的一致规则,各种电子商品的出产厂家根据其出产的商品品种、所采用的出产技术技能、出产技术设备、出产用原辅料以及无尘车间运转的实践经验断定规划缔造无尘车间的空气洁净度等级。

  举例说明:

  例一、薄膜晶体管五颜六色液晶显示器出产用无尘车间,TFT-LCD具有体积小、质量轻、易携带、耗电低、颜色传神、大容量、高分辩示等长处。

  各无尘车间空气洁净度等级,操控粒子粒径为0.3um

  清洁、涂胶、曝光间       ISO 4级

  显影、刻蚀间          ISO 5级

  成盒间            ISO 5级

  溅射、CVD间          ISO 6级

  例二、某高密度磁带出产用洁净厂房、无尘车间操控微粒粒径0.5um

  各无尘车间的空气洁净度等级请求

  涂布头                       ISO 5级

  备件、切带、带基、测验、涂布间和烘干、固化间    ISO 6级

  拼装、修理间和有些原料库     ISO 7级

  砂磨、化验间和配件间         ISO 8级

  制品库和有些原料库           准洁净间

  3、精密机械、精细化工等商品出产环境的空气洁净度等级

  例一、一个陀螺仪出产用无尘车间

  无尘车间空气洁净度等级请求

  装配间          ISO  6级

  轴承加工间         ISO  5级

  例二、一个感光胶片出产用无尘车间

  流延机头部,涂布机头部    ISO 5级

  涂布室,流延机室       ISO 6级


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